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KASHIYAMA水封式真空泵LEH/LEM系列 LEH型是2級(jí)泵，用于高真空，LEM型是馬達(dá)直接連接型泵，緊湊，輕量。

KASHIYAMA水封式真空泵LEH/LEM系列 適用于排出含有水蒸氣或水滴的氣體。 可以排出易燃性氣體或腐蝕性氣體。 因?yàn)槟Σ敛糠稚?，少故障所以可以承受連續(xù)運(yùn)行。 噪音低且振動(dòng)小。 連續(xù)排氣沒(méi)有脈動(dòng)。 軸封使用機(jī)械密封，易于維護(hù)

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KASHIYAMA慳山工業(yè)真空泵MU-P/H系列 工藝耐受性?xún)?yōu)良節(jié)能泵 從輕負(fù)荷到蝕刻·CVD 可廣泛使用 搭載HOT-N2吹掃的MU-H系列